半导体及微电子

在半导体和平板/TFT行业中，高含量的氧气可以引起较低导电率的晶片和平板弯曲。凭借良好的精度、效率和简洁性，Liqui-Cel 脱气膜是半导体加工、平面显示器制造和其他高科技行业的标准水脱气方案。

较低的氧气浓度可以保护产品，同时较低的二氧化碳浓度有助于尽量改善水的去电离子和离子交换工艺的效率。脱气膜可以脱除水中的氧气和二氧化碳，将这些气体的浓度控制在极低水平，进行生产过程中超纯水的脱氧、脱碳、ECP设备电镀液的脱气等，以满足如今的生产需求。

此外，Liqui-Cel 脱气膜还可以实现清洁用水和晶片加工化学品中溶解气体的精确控制，对WET设备添加氧气、臭氧等气体。